精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)的設(shè)計(jì)要求

當(dāng)前，精密加工、檢測(cè)或掃描等工業(yè)應(yīng)用中對(duì)于微米級(jí)精度的直線運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)，具有很大的需求。這些工業(yè)應(yīng)用要求滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在精度穩(wěn)定性、往復(fù)運(yùn)動(dòng)速度以及定位準(zhǔn)確性與快速性等方面具有比較高水平。從精密加工工藝方面來(lái)看的話，精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)應(yīng)該主要滿足以以幾點(diǎn)基本要求：

一是精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)必須具有三維及以上的加工能力。在三維精密運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)上增加電機(jī)或運(yùn)動(dòng)元件即可構(gòu)成多軸平臺(tái)系統(tǒng),可以擴(kuò)大此種類型精密運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)的適用范圍。

二是精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)必須具有高剛性，高加速度。高剛性使滑臺(tái)能夠抵抗外界的碰撞而避免產(chǎn)生變形，從而能夠保證滑臺(tái)的精度不受到影響，而高加速度可以體現(xiàn)滑臺(tái)的優(yōu)良特性，提高所設(shè)計(jì)toyo滑臺(tái)的應(yīng)用價(jià)值。

三是精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)必須有較高的重復(fù)定位精度。重復(fù)定位精度是精密運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)的一個(gè)非常重要的精度指標(biāo)，它受多種因素影響，包括系統(tǒng)特性、系統(tǒng)存在的間隙以及系統(tǒng)的摩擦特性等，對(duì)于加工件的質(zhì)量具有重要的影響。

針對(duì)上述設(shè)計(jì)要求，東佑達(dá)公司的精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)采取了立式布局設(shè)計(jì)，即由一個(gè)直線運(yùn)動(dòng)模組帶動(dòng)工件實(shí)現(xiàn)Y方向的運(yùn)動(dòng)，X方向的運(yùn)動(dòng)同樣通過(guò)直線運(yùn)動(dòng)模組實(shí)現(xiàn)，Z方向的直線運(yùn)動(dòng)模組與X方向的直線運(yùn)動(dòng)模組相疊加構(gòu)成聯(lián)動(dòng)模組，Z向負(fù)載平臺(tái)帶動(dòng)執(zhí)行部件做豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，由此構(gòu)成精密運(yùn)動(dòng)型toyo滑臺(tái)三個(gè)方向上的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。每個(gè)直線運(yùn)動(dòng)模組都是由直線電機(jī)、反饋元件、直線導(dǎo)軌以及接近傳感器等構(gòu)成，從而實(shí)現(xiàn)精密的微進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。